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無塵車間資訊

簡析東莞無塵車間工程靜電的要點【東鑫凈化】

文章出處 : http://m.tluu.cn/ 作者 : 東鑫凈化 人氣 : 236 發(fā)表時間:

在無塵車間里,防靜電與除塵其實是相輔相成的,因為靜電的主要來源就是粉塵,粉塵減少了,也就很大程度上降低了靜電的產(chǎn)生。那么,你知道東莞無塵車間工程靜電的要點嗎?

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1)確定靜電控制級別

2)盡量減少靜電荷的產(chǎn)生

3)泄放和中和的辦法加速靜電荷消散,防止靜電積累

4)保護產(chǎn)品不受ESD的損壞

2、確定靜電控制的級別

1)元器件、組件和設備靜電敏感度分級

1級:易遭受0-1999V靜電電壓損壞的

2級:易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的

3級:易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的

而敏感靜電壓大于16000V的,便不必采取防靜電措施。

2)靜電防護工作區(qū)的分級

A級:允許對地靜電電位不超過±100V

B級:允許對地靜電電位不超過±1000V

實際工程中是分靜電電位不超過100V、500V1000V等對應元器件、組件和設備靜電敏感電壓的3級。

3、盡量減小靜電荷的產(chǎn)生

這是控制靜電三步曲的第一步,在這凈化工作環(huán)境中,最好的措施:

1)盡量采用性質(zhì)相似器材,減少在接觸摩擦分離過程中產(chǎn)生靜電電荷;

2)盡量采用導靜電型或靜電耗散型材料的器材,減少接觸摩擦分離過程產(chǎn)生積累靜電荷;

3)盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。

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東莞無塵車間工程   東鑫凈化16年資深技術經(jīng)驗行業(yè)三級資質(zhì)


4、泄放和中和

這是控制靜電三步曲的第二步,在微電子生產(chǎn)的凈化室中最通常的措施是接地,采用導電性或耗散性材料泄放靜電荷,以及離子化消電器中和靜電荷。

1)接地

東莞潔凈車間應設一個獨立靜電接地系統(tǒng)(包括地面接地金屬網(wǎng)支系統(tǒng)、生產(chǎn)線工作站接地支系統(tǒng)),以便室內(nèi)所有設備金屬外殼、移動設備的金屬支架、防靜電器材等安全、有效地將靜電荷泄放至大地。工作人員的帶電則通過手腕帶接地,以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經(jīng)防靜電地面向大地泄放。地面、墻面、頂棚、隔斷等是硬接地,設備外殼、移動設備(車、椅、貨架等)、工作臺等則屬軟接地。

2)離子化肖電器

東莞潔凈車間中生產(chǎn)組裝的元器件、PCB,生產(chǎn)線、工作站上總是難免存在一些不能接地的絕緣導體和絕緣介質(zhì)材料(例如大多數(shù)普通塑料)。在某些環(huán)境下,離子化消電器常用來局部消散這些物體上的靜電荷,而更經(jīng)常的是借助于空氣離子化來中和在絕緣介質(zhì)上和孤立導體上的所帶靜電電荷。

3)導靜電和靜電耗散材料

導靜電材料和靜電耗散材料由于其具有導靜電性,也是很好的靜電荷泄放材料,而且比金屬導體泄放更具有安全性,通常被采用做地板、墻面、工作臺、周轉(zhuǎn)容器、鑷子、刷子等防靜電器材。


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